7月29～31日に東京ビッグサイトで開催の「第20回マイクロマシン/MEMS展」の開催概要を主催のマイクロマシンセンターに聞いた。今回，企業は懐事情の厳しい今春に出展を決めることとなったが，前回に比べて出展者数が急増した分野が二つある。

　MEMS/マイクロマシン展は，今年で20回目を迎える。当初，科学技術館で開催されていたが，規模の拡大に伴い，2006年に東京国際フォーラム，2007年より東京ビッグサイトに会場を変えた。今年は，出展者数が減るものの，前年の約2/3を維持している。出展者数は235社・団体（2008年は358），展示の小間数は316（2008年は483）である。

　こうしたなか，出展者数が増えた分野が二つある。ナノインプリントとファウンドリである。前回，ナノインプリント関連の出展者数は6だったが，今回は37になる。マイクロマシンセンターでは，微細半導体で「設備投資の莫大なフォトリソグラフィ工程をナノインプリントで置き換える動きがあるためではないか」（専務理事の青柳桂一氏）と分析している。このため，ナノインプリント関連の展示には，MEMS分野だけではなくLSI分野の来場者も期待できるとする。

　ファウンドリの出展者数は，前回の48から今回は60へと増えた。MEMSファウンドリに対するニーズが高まっているとともに，「小規模ながら得意技術をアピールしたい専業ファウンドリが増えたためではないか」（青柳氏）とする。MEMSの製造では，特殊な加工技術を活用して付加価値を高められる可能性がある。

　マイクロマシンセンターは，今回の来場者数の目標として前回並みの1万3000～1万4000人としている。出展者数は減るものの，セミナーの規模を拡大するなどして，幅広い層の来場者を見込めるためである。